三菱樹脂板材案例：液晶半導體蝕刻洗凈

由于洗凈工序是用水、酸、堿的部分，因此使用了PVC。熱水部分用101HTC，不加熱部分用普通板101E。很多地方用NT230、NT300、101EC（擠壓象牙白色板）。出口產品也有可能采用FM認證材料。氣流室、無塵室。